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MDC Precision公司介绍

‌MDC Precision是美国一家专注真空技术与陶瓷—金属封接解决方案的制造商，‌公司的技术根基集中在三个方向‌：真空科学与真空系统制造、超纯与超卫生材料制造，以及陶瓷—金属封接（ceramic-to-metal sealing）与 MuMetal 磁屏蔽技术。资料称，其真空、陶瓷—金属封接与磁屏蔽技术积淀可追溯至约六十年的技术传承，正是这些能力支撑了公司从单一真空零件供应商向系统解决方案提供者的演进。公司强调其产品用于"在原子尺度上运行的精密系统"，并把自身角色描述为帮助客户在工业 4.0 与第四次工业革命中实现精密制造。

‌MDC Precision 的产品体系围绕"真空系统从零件到组件"的思路搭建，按目录与产品线划分，可归纳为以下几大板块。进口MDC PRECISION电气馈通件 热电偶 阀门

‌第一类是真空法兰与管件。‌ 这是 MDC最基础也最成体系的板块。法兰方面覆盖 ‌CF（Conflat，含自有 Del-Seal™ 金属密封系列）法兰、ISO KF Kwik-Flange™ 快装法兰、ISO LF 大法兰、ANSI/ASA 法兰以及线密封法兰‌，规格从 1-1/3 英寸到 14 英寸以上均有对应型号。管件方面包括弹性联轴器（flexible couplings）、三通、十字接头、水冷夹具、可焊接部件以及混合适配器（Hybrid Adapters）。混合适配器用于在不同类型、不同尺寸的法兰或螺纹接口之间转接，材质多为不锈钢、铝或钛，具备良好的耐腐蚀性与耐高温性能。

‌第二类是真空阀门。‌ 这是 MDC产品线中最完整、行业验证最充分的一组，覆盖从粗真空到超高真空的全压力范围。主要包括：‌闸阀（Gate Valves）‌，提供从 5/8 英寸到 12 英寸共 11 种通径，闸板式启闭、流阻低、通径大；‌角阀（Angle Valves）‌，提供 1/4 英寸到 10 英寸共 12 种通径，90 度转角流道、焊接波纹管密封；‌InvisiFlow™ 集成加热角阀‌，面向沉积工艺，集成加热系统与隔离式波纹管，减少颗粒产生；‌直通阀（Inline Valves）‌，3/4 英寸到 3 英寸共 6 种通径，直通流道、气体导率高；‌全金属阀（All-Metal Valves）‌，采用 OFE 无氧铜阀板密封，整阀可 450°C 烘烤，用于 UHV 环境；‌蝶阀（Butterfly Valves）‌，1/4 转快速开关，Viton O 型圈密封；‌可变泄漏阀（Variable Leak Valves）‌，含 Fine Leak 与 Precision Leak 两个子系列，精密针阀结构实现微流量连续可调；以及‌加热节流蝶阀（Throttle Butterfly Valve）‌，配 NEMA23 电机驱动，通过开度调节精确控制系统压力。UHV 级阀门普遍采用焊接波纹管密封、电抛光内表面与严格脱气工艺。

‌第三类是电气与光学馈通件。‌ MDC是馈通件领域较有代表性的厂商，产品包括‌电源馈通件‌（可覆盖 25kV、60kV、100kV 等高电压等级）、‌多针馈通件‌、‌同轴馈通件‌、‌热电偶馈通件‌、‌流体馈通件‌和‌射频功率馈通件‌。这一板块与公司的陶瓷—金属封接技术直接相关，也是其进入半导体、航空航天与医疗等高要求领域的关键产品。

‌第四类是视窗与玻璃组件。‌ 包括‌石英（SiO₂）视窗、蓝宝石（Al₂O₃）视窗‌以及‌可焊接耐热玻璃‌组件，用于真空腔体的观察、光学诊断与光路引入。

‌第五类是运动与操纵组件（Motion & Manipulation）。‌ 主要产品有‌标准直线运动引入装置‌（提供 1 至 6 英寸即 25.4 至 152.4mm 的行程，刻度按 0.001 英寸即 0.0254mm 分度，丝杠导程 0.025 英寸即 0.635mm 每转，采用焊接不锈钢波纹管与直线轴承支撑，可选手动或电动）、‌精密旋转运动引入装置‌（分辨率可达 0.1°，可烘烤至 230°C，低背隙设计）、‌磁性传送器与操纵机构‌（如 DN40 CF 2.75 英寸磁性传送器，行程可达 24 英寸即约 610mm，适用 1×10⁻¹¹ Torr 级别）以及轴承等运动部件。产品普遍提供 CF 或 ISO KF 接口，并有电动化选项。

‌第六类是测量、腔体与系统配套。‌ 包括‌真空测量系统‌、‌真空腔体（Vacuum Chambers）‌、‌系统安全组件与真空中断/隔离（含陶瓷真空断流件）‌、‌粗抽组件与捕集过滤（Traps & Filters，含前级捕集器、分子筛、同轴过滤器、粗抽软管、真空泵）‌、‌压力爆破片（Burst Discs）‌、‌气体输送方案（含起泡器、气体输送与分析车）‌，以及‌五金配件（连接器、螺栓、垫片等）‌。这一板块使 MDC能够提供从零件到半成品的成套配置，也明确其提供"全面的设计与制造解决方案"及合同制造服务。

MDC Precision适用领域

‌半导体制造‌是 MDC最核心的应用领域之一。公司自述其产品对"生产特征尺寸小于 20 个原子的半导体的系统"至关重要，典型应用场合包括刻蚀、薄膜沉积、离子注入等前道设备，以及需要超高洁净与超高真空的工艺腔体与管路隔离。

‌工业与研究领域‌同样重要。MDC长期服务国家实验室与高校，应用方向涵盖基础物理与高能物理（粒子物理）研究、表面科学、材料科学、同步辐射光束线与 X 射线光学等。该领域对精度、准确度与可靠性要求，任何一个微小误差都可能在更大尺度上被放大。

‌航空航天与国防‌是 MDC的另一个支柱领域。作为 ITAR 认证供应商，其陶瓷—金属封接件、传感器馈通件、超高真空组件与超纯焊接件被用于深空等严苛环境，要求气密、耐温、耐压、抗振，并保持极低失效率。

‌生命科学与医疗‌领域，MDC的产品用于细胞层面的有机组织成像等应用，相关设备必须保证精度与安全冗余。‌食品加工‌领域则依赖其在超纯、超卫生材料制造方面的能力。此外，‌能源‌方向（含聚变能、核能与太阳能）以及平板显示、光学镀膜、真空冶金与热处理真空炉、工业真空系统等，也都是其产品的典型应用场景。综合口径，MDC面向的行业可概括为：工业与研究、半导体、航空航天与国防、生命科学与医疗、食品加工、能源与制造等。

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MDC Precision产品简介

MDC Precision的真空产品体系完整覆盖从零件、组件到半成品的整条链路，可分为真空法兰与管件、真空阀门、电气与光学馈通件、视窗与光学组件、运动与操纵组件、真空腔体与系统配套六大系列。以下逐系列介绍应用代表型号。

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真空法兰与管件系统

Del-Seal™ CF 金属密封法兰‌

Del-Seal™ CF 是 MDC的旗舰级金属密封法兰，采用无性别（genderless）配合结构，两侧法兰的密封几何相同，靠刀口压紧扁平垫片实现密封。法兰本体为 304 不锈钢，可选 316L、316LN 等牌号；标准垫片为 OFE 无氧电子铜，另有镍、铝、镀银铜等金属垫片可用于无法使用纯铜的场合。密封原理是：两个锥形刀口边缘夹紧垫片时，铜材发生横向冷流并被"捕获槽"限制，形成很高的界面压力，可填入表面微小缺陷，即便高温下垫片软化仍能维持密封。技术参数：极限真空可达 1×10⁻¹³ Torr，泄漏率约 2×10⁻⁸ cc/s He，连续使用温度 -200°C 至 450°C；规格覆盖 1/8 英寸至 14 英寸管径，更大口径（至 24 英寸）建议选用线密封法兰。产品提供可旋转与不可旋转两种几何、螺纹孔或间隙孔两种孔型，螺栓拧紧扭矩随规格从 8-32 的 7 lb-ft 递增至 5/8-18 的 95 lb-ft，改配弹性体密封时则降为 7-10 lb-ft。该系列与 Varian Conflat® 100% 兼容，广泛用于半导体、粒子加速器与同步辐射光束线等超高真空场合。进口MDC PRECISION电气馈通件 热电偶 阀门

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Kwik-Flange™ ISO KF 弹性体密封法兰‌

Kwik-Flange™ ISO KF 是 MDC面向高真空场景的经济型可重复使用法兰系统，采用弹性体 O 型圈密封，支持快速连接与拆卸，特别适合需要频繁组装与维护的管路。法兰本体为 304 不锈钢，O 型圈可选 Viton®（氟橡胶）、Buna-N®（丁腈橡胶）或硅橡胶；夹钳、铰链与隔板件为铝制，夹紧采用铰接 10-32 螺纹，隔板为六角头螺栓。技术参数：额定真空 1×10⁻⁸ Torr，可烘烤至 150°C；温度范围按密封材料区分，Viton® 为 -20°C 至 150°C（间歇 200°C），Buna-N® 为 -20°C 至 80°C（间歇 100°C），硅橡胶为 -20°C 至 150°C（间歇 200°C）。夹钳为手指拧紧，螺栓扭矩 7-10 lb-ft，单件重量最大约 1/4 磅。标准通径包括 K075、K100、K-150 与 K200，分别对应 NW16、NW25、NW40、NW50 等国际规格，并可通过变径定心环实现不同口径互换。该系统符合全部 ISO 规范，与多数第三方 ISO KF 组件兼容；超过 2 英寸的管径改用 ISO LF 大法兰，二者共同构成 0.75 至 20 英寸的完整弹性体密封支架体系。

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Del-Seal™ CF 直通连接件（402002 / 402004）‌

Del-Seal™ CF 直通连接件属于 MDC的"构件式"管件家族，用于在两个相同尺寸的 CF 端口之间建立直线通路，是搭建超高真空管路的常用组件。经典型号 402002 为 CF40 直通件，两端配 2.75 英寸外径 Del-Seal 法兰，内置 1-1/2 英寸外径管，管壁厚 0.065 英寸，标称法兰 2-3/4，重量约 1.5 磅；402004 为 CF63 直通件，两端配 4.5 英寸外径 Del-Seal 法兰，同为 1-1/2 英寸外径管，标称法兰 4-1/2，重量约 3 磅。技术参数：法兰材质 304 不锈钢，垫片 OFE 铜，螺栓为 300ss 或镀银 300ss，螺栓头可选六角、12 点或内六角，螺母为六角或两孔板，温度范围 -200°C 至 450°C，极限真空约 1×10⁻¹³ Torr。每个组件一端配可旋转法兰、另一端配不可旋转法兰，便于装配对齐。除标准直通外，同族还包括半接头、变径管、柔性接头，以及 45°、90° 弯头、三通、变径三通、四通、五通、六通与六通立方体等丰富构型，所有附件均由 304 不锈钢拉制并焊接真空管制成，也可按需定制非标长度与接口形式。

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真空阀门系统

闸阀（Gate Valve，303014 系列）‌

MDC闸阀采用闸板式启闭结构，通径覆盖 5/8 英寸至 12 英寸共 11 种规格，凭借流阻低、通径大的特点，主要用于真空镀膜与大型真空设备主管路的隔离和通断控制。典型型号 303014 为 2.5 英寸（DN63）气动闸阀，属 UHV 等级，采用圆形或矩形孔口设计。标准配置包括：UHV 与 HV 两个系列；Del-Seal™ CF、ISO Kwik-Flange™、ISO Large-Flange™ 或 ANSI ASA 法兰接口；手动与电动气动两种执行机构； C-Loc® 与 Uni-Loc™ 锁定机构；圆形闸阀配 120VAC 空气控制电磁阀，矩形闸阀配 24VDC 空气控制电磁阀；阀盖密封可选 OFE 铜金属密封或氟橡胶（FKM/FPM）弹性体密封。阀体内部接头采用氩弧焊，内外表面电抛光，轴承使用干膜润滑，执行机构采用焊接波纹管密封，以适应超高真空与频繁动作工况。该系列在半导体前道设备（刻蚀、薄膜沉积、离子注入）、真空镀膜与光学镀膜、平板显示及太阳能电池制造设备中得到长期使用验证，也常见于科研装置与工业真空炉。进口MDC PRECISION电气馈通件 热电偶 阀门

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角阀（Angle Valve，AV-150 系列）‌

MDC角阀采用 90 度转角流道与焊接波纹管密封，通径从 1/4 英寸到 10 英寸共 12 种规格，适合紧凑布局与直角管路连接。其中 1-1/2 英寸的 AV-150 系列代表性，拥有完整型号矩阵：AV-150 / KAV-150（310029 / 310074）为手动、Del-Seal™ 金属密封法兰、Viton® 阀盖密封、HV 等级，重约 4 磅；AV-153（310032）为手动、管焊接法兰、Viton® 密封、HV 等级，约 3 磅；AV-150-P / KAV-150-P（311029 / 311074）为电气动、Del-Seal™ 法兰、Viton® 密封、HV 等级，约 6 磅；AV-150M（312029）为手动、金属密封阀盖、UHV 等级，约 6 磅。接口可选 Conflat® 2-3/4" Del-Seal™、ISO NW40 Kwik-Flange™ 或 1-1/2" 管焊接法兰。技术特点：304 不锈钢全焊接阀体配 AM-350 不锈钢嵌套波纹管，低放气率、高耐久；HV 系列可烘烤至 150°C，UHV 系列采用金属密封阀盖可烘烤至 250°C；电气动型为气开弹簧关气缸设计。可选配机械或磁性位置指示器、24VDC/240VAC 气控电磁阀、高温阀芯密封件与维修套件。进口MDC PRECISION电气馈通件 热电偶 阀门

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InvisiFlow™ 集成加热角阀（311096 / 312096）‌

InvisiFlow™ 是 MDC专为先进真空镀膜系统开发的集成加热角阀，用于解决材料堆积导致设备性能下降的问题。其核心是内置集成加热系统（IHS），可对阀芯进行内部加热，从而减少颗粒产生、降低污染风险；焊接波纹管被布置在工艺流道之外，使阀门免受颗粒物与腐蚀性气体侵蚀，寿命可达一百万次循环。典型型号 311096（ISO 法兰、NW100）与 312096（CF 法兰、6.00"）均为 4.00 英寸通径气动阀，阀盖密封为 FKM。加大的 4 英寸（101.6mm）端口与优化的腔体过渡设计，在不增加阀门体积的前提下实现高导通流量。主要技术指标：压力范围 1×10⁻⁹ Torr、最高 14.7 psi（1 bar）；温度等级为阀体 400°F（200°C）、执行器 400°F（200°C）、电磁阀 125°F（50°C）；压缩空气要求 80-100 psi（5.5-7 bar）；开关循环时间 1 秒；筒式加热器可选配热电偶实现精确温控。密封可选 OFE 铜或 FFKM。该产品符合 ISO 3669 标准，UHV 等级可达 1×10⁻¹³ mbar，高温等级可达 450°C，另有 1-1/2 英寸至 10 英寸多种通径可选。

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可变泄漏阀（Variable Leak Valve，ULV）‌

MDC可变泄漏阀（ULV）是专为超高真空系统中受控引入气体而设计的精密阀门，通过精密针阀结构实现从极微流量到较大流量的连续可调，常用于工艺气体引入、漏率标定与真空系统分压控制。产品包含 Fine Leak 与 Precision Leak 两个子系列，可根据所需流量精度选用。典型规格为 1.33 英寸口径、法兰连接方式，阀体采用不锈钢材质。核心特性：耐受高温可达 450°C，提动头（poppet）为可更换的蓝宝石材质，阀座为可更换的 OFE 无氧铜，便于在长期使用或污染后进行修复而无需整阀更换。这种"蓝宝石提动头配铜阀座"的组合兼顾了耐磨性、密封性与可维护性，是可变泄漏阀在苛刻工况下保持稳定漏率的常见方案。该系列阀门口径较小、结构紧凑，通常安装在真空腔体的辅助接口上，与主隔离阀配合使用：主阀负责大流量通断，泄漏阀负责微量气体注入。除标准型号外，MDC还可根据用户的流量范围、接口形式与烘烤要求提供定制配置，适配半导体工艺、表面科学与分析仪器等对气体流量控制精度要求较高的场合。

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电气与光学馈通件

高压电源馈通件（Power Feedthrough）‌

MDC电源馈通件用于在真空腔壁上传导高电压与大电流，是镀膜、离子注入与等离子体设备的常用部件。产品按电压等级与法兰形式形成完整谱系，典型型号包括：60kV、3 安培、单针、4.5 英寸 Conflat 法兰型号；25kV、30A、3 针、2.75 英寸 Conflat 法兰型号，导体材料为铜；20kV、25 安培、4 针、水冷式型号，配 K150、NW40 ISO KF 快速法兰。技术特点：密封单元采用 95% 氧化铝陶瓷（或硬质玻璃）与可伐合金（Kovar）高温封接，不含有机胶，放气率低、可高温烘烤除气；导电针表面镀金以降低接触电阻并抗氧化；法兰本体为不锈钢，安装接口兼容 CF、ISO KF 等标准。选型要点：CF 法兰馈通适用于 CF 超高真空系统，氦检漏率可达 1×10⁻¹² Pa·m³/s 量级；KF 法兰馈通面向高真空场景；水冷型适用于大功率、长时工作的电极或灯丝供电。MDC的每个馈通部件均按精密制造标准生产，可提供配套的电线、绝缘体与连接器，并可按需定制针数与电压等级。

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热电偶馈通件（Thermocouple Feedthrough）‌

热电偶馈通件用于把真空腔内的温度信号引出至外部仪表，是真空炉、镀膜与材料研究设备的关键部件。MDC的热电偶馈通件按热电偶类型与法兰形式形成系列，常见包括：E 型热电偶馈通，1 对、微型连接器、1.33 英寸扁平法兰；K 型热电偶馈通，1 对、微型连接器、K075、NW16 ISO KF 快速法兰；C 型热电偶馈通，5 对、微型连接器、2.75 英寸扁平法兰。这些型号覆盖了从单对到多对、从 CF 到 ISO KF 的常见组合，便于按测温点数量与真空等级选型。技术要点：馈通件采用陶瓷—金属高温封接结构，导线与插针材料与所配热电偶类型匹配，以保证测温精度并避免引入寄生热电势；真空侧使用真空相容导线，低放气；耐受烘烤温度与所选密封形式有关，金属封接型号可随腔体一同烘烤除气。选型时需注意热电偶分度号（如 E、K、C 型）与补偿导线的匹配，以及插针对数是否满足多点测温需求。MDC同族产品还包括多针信号馈通与流体馈通，可组合用于同时传递电信号与冷却介质。

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多针与同轴信号馈通件‌

多针与同轴馈通件用于在真空界面上传递低电平信号、控制信号与高频信号，是自动化真空系统与精密测量装置的重要接口。多针馈通件适合开关量、模拟量、传感器微弱直流信号、步进电机与 RS485 等低电平信号的集成传输，可通过较少的法兰孔位实现多路信号并行，简化腔体布线；同轴馈通件则保证高频信号在 50Ω 标准阻抗下传输，用于射频探测、微波、脉冲信号与等离子体监测等场合，需关注阻抗匹配、电压驻波比（VSWR）与插入损耗等指标。技术共性：密封单元采用陶瓷—金属高温封接，无有机胶，放气率低、可烘烤除气；导电针表面镀金，降低接触电阻并抗氧化；法兰为不锈钢，兼容 CF、ISO KF 等标准接口，可与腔体焊接或螺栓固定。选型要点：低电平信号优先选用高绝缘、低漏电的多针馈通；高频信号必须选用阻抗匹配的同轴馈通，避免信号反射与波形失真；微弱信号则可考虑三同轴结构以增强屏蔽。MDC同时提供电源、热电偶、流体与射频功率馈通，构成完整的真空电学与流体接口体系。

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视窗与光学组件

蓝宝石视窗（9712000 / 9712002）‌

蓝宝石视窗以高纯度单晶 α-Al₂O₃ 为窗口材料，是高温与腐蚀环境下光学监测。MDC的 UV 级蓝宝石视窗以 9712000 与 9712002 为代表，光学清晰度额定为 50-20 划痕，晶体取向为 90°，确保光路传输无偏差。技术参数：单晶蓝宝石可承受 842°F（450°C）高温烘烤，长期工作温度覆盖 300-450°C，远超普通石英玻璃通常不超过 300°C 的耐温上限；透光范围覆盖紫外至红外（400-1600nm），技术改进后近红外透过率达 75% 以上；蓝宝石对紫外线透光率高且化学惰性强，可抵抗腐蚀性气体与液体侵蚀。密封与安装形式提供三类：可拆卸式氟橡胶 O 圈密封，耐温 150°C，适用于频繁拆装；不可拆卸式金属封接，耐温 450°C，适用于长期连续运行的工业容器；以及 Conflat CF、Kwik-Flange™ 与可焊接三种接口样式，适配高真空至 10⁻⁹ Pa 级超高真空。该视窗广泛用于半导体 CVD 薄膜沉积、激光系统、真空化学合成与生物样本观测等场合，并可定制镀膜波段与防爆、加热等功能。进口MDC PRECISION电气馈通件 热电偶 阀门

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石英（熔融石英）视窗（9722205 / 9721005 / 9722009）‌

石英视窗以合成熔融石英（fused silica）为窗口材料，在深紫外到近红外的宽波段内保持高透过率，适合光谱分析、激光诊断与光刻等对光学均匀性要求高的应用。MDC石英视窗按镜片等级分为 DUV-200、EUV-185 与红外低羟基（low-OH）等多种材料，典型型号包括：9722205 为 DUV-200 级、1.50 英寸镜片、2.75 英寸（DN40 CF）零长度视窗；9721005 为 UV 级、1.50 英寸镜片、可焊接安装视窗；9722009 为 UV 级、4.00 英寸镜片、6.00 英寸（DN100 CF）Conflat 法兰视窗，提供更宽的观察与通光口径。技术参数：合成熔融石英在 185nm 处透过率 ≥80%/cm；光学表面为 40-20 划痕—点疵等级，亚 0.25μm 波长应用可另选 20-10 等级；可烘烤至 450°C；具备高抗磨损性与低热膨胀系数，可降低热冲击开裂风险。安装形式覆盖 Conflat 法兰、Kwik-Flange ISO KF 与可焊接三类，并可选标准长度与零长度两种几何结构，便于在腔体空间受灵活布置，也支持按需定制馈通配置。进口MDC PRECISION电气馈通件 热电偶 阀门

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Pyrex® 视窗（PVP-4）‌

Pyrex® 视窗是 MDC真空腔体与钟罩的标准观察与光学接口，以硼硅玻璃视镜配金属法兰封接，兼顾光学透明度、机械强度与成本。PVP-4 是其中的代表型号，提供 4 英寸（101.6mm）直径的有效观察区域，作为集成部件广泛装配于 MDC的不锈钢钟罩产品之上（如 524000、524001、524002），使操作者无需额外开孔即可直接观察腔内状态。主要特点：视镜采用硼硅玻璃材料，可承受一定温度变化与化学侵蚀，适合常规真空与等离子体实验的观察需求；法兰与视镜之间采用真空级封接工艺，保证气密与低漏率；可与 Conflat CF、ISO KF 等标准接口配套，便于维护更换。相对于蓝宝石视窗与熔融石英视窗，Pyrex® 视窗更侧重可见光观察与成本效益，适用于真空系统、半导体工艺、材料研究、等离子体实验与洁净室作业等场合。当应用需要深紫外透过、高温烘烤或更强耐腐蚀能力时，则应改选石英或蓝宝石视窗，以获得更高的透过率与更宽的温度适应范围。

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运动与操纵组件

直线运动引入装置（Linear Motion Feedthrough）‌

直线运动引入装置用于在真空腔壁上实现精密、可靠的直线位移传递，广泛应用于样品定位、探针调节与阀板驱动。MDC标准直线运动型号配备激光蚀刻的径向与直线标尺，径向刻度为 0.001 英寸（0.025mm），直线刻度为 1mm；驱动筒每旋转一整圈可实现 0.025 英寸（0.635mm）的行程，采用 40 螺距导螺杆。结构上采用边缘焊接不锈钢波纹管、直线轴承支撑与精密导螺杆，确保长寿命与平稳运动。产品按行程提供 1 至 6 英寸（25.4 至 152.4mm）多种规格，可选手动或电动驱动。衍生型号各有侧重：高温标准型由 304 不锈钢制成，适用于烘烤与高温工艺；紧凑型每转提供 1.25mm 行程并采用细螺距导螺杆，适合空间受限场合；推拉式驱动器配 0.025 英寸激光蚀刻刻度线与可锁定机构，用于快速移动；齿条齿轮型每 1¼ 圈产生 1 英寸行程，控制力更强；气动型具备可调行程与快速响应，适用于自动化双位动作；重型选项采用再入式焊接波纹管结构，用于移动大型部件。

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精密旋转运动引入装置（Rotary Motion Feedthrough）‌

旋转运动引入装置用于在高真空与超高真空环境中实现精密、连续旋转，是样品操纵、晶圆搬运与挡板控制的常用部件。MDC标准旋转型号配备以 5° 为增量刻度的 360° 激光蚀刻标尺，可实现精确定位；焊接不锈钢波纹管采用离轴摆动设计，并配旋转轴轴承支撑，保证长期性能与耐久性；高温型号由 304 不锈钢制成，可承受 100°C（212°F）烘烤温度。产品谱系包括：气动驱动旋转装置，可在 30° 至 90° 间调节，适合腔内挡板与双位驱动；微型旋转馈通，结构紧凑，支持最高 20 盎司-英寸（0.14 N·m）扭矩；精密旋转仪器，分辨率达 0.1°、背隙极小；磁耦合旋转装置，为无波纹管的 UHV 旋转方案；直驱旋转馈通，手动或电机驱动，转速最高 300 转/分，采用预加载氟橡胶密封；差分抽气直驱型号在 500 转/分时提供最高 100 磅-英寸（11.3 N·m）扭矩，经 1/8 英寸管螺纹抽气口兼容 10⁻⁹ Torr 级 UHV 环境。所有型号均可选 Conflat® CF 或 Kwik-Flange™ ISO KF 接口，高真空型配 ISO KF 法兰并使用氟橡胶密封，超高真空型采用 CF 法兰配铜垫圈刀口密封。

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旋转—直线复合运动传送装置（670025 / 670028 / 670031 / 670034）‌

旋转—直线复合运动传送装置把高分辨率旋转与直线运动集成在紧凑的 UHV 兼容执行器中，是多自由度样品操纵的典型方案。以 670025 系列为例，产品提供连续 360° 旋转运动，显示分辨率为 0.1°；直线位移可达 0.5 英寸（12.7mm），分辨率 0.001 英寸（0.0254mm）；直线驱动旋钮每转一圈实现 0.025 英寸（0.635mm）位移。结构上采用低反冲机构、焊接不锈钢波纹管以及独特的离轴摆动设计，确保运动平稳且使用寿命长；需注意的是整个直线机构会随旋转驱动一同旋转，系统设计时须予以考虑。两轴均可选择电动化驱动（电机控制器需另购），并统一安装于 2-3/4 英寸（69.85mm）Conflat® CF 法兰上；四个型号 670025、670028、670031、670034 的法兰尺寸相同，区别在于行程长度 A 值依次为 10.00、15.75、23.62 与 31.50。主要参数：密封机制为焊接波纹管，材质 304 不锈钢，压力范围 1×10⁻⁸ Torr（KF）至 1×10⁻¹¹ Torr（CF），烘烤温度最高 230°C，工作温度 -20°C 至 230°C，最大转矩 50 oz./in。该装置适用于样品定位、光束线组件调节与原位操作，广泛用于同步辐射设施、半导体研究与先进材料测试。

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真空腔体与系统配套

不锈钢钟罩（524000 / 524001 / 524002）‌

不锈钢钟罩是 MDC真空腔体产品线的代表，采用 Type 304 不锈钢精密制造，用于构建可快速开启的真空实验空间。钟罩设计上与 MDC的扁平底板、底井或馈通件领圈无缝配合：底法兰设有一道燕尾槽，内嵌随附的 FKM/FPM O 型圈，与底板形成重力密封界面；所有焊缝均为内部焊接，以保持腔体内壁洁净并提升真空完整性；顶部中央设提环，便于吊装搬运。产品提供三种标准公称尺寸：524000 为 12 英寸（内径 12.00、法兰外径 14.00、不含 O 圈高度 12.00、视口高度 6.00）；524001 为 18 英寸（内径 18.00、法兰外径 20.00、高度 30.00、视口高度 12.00）；524002 为 24 英寸（内径 24.00、法兰外径 26.00、高度 30.00、视口高度 12.00）。技术参数：额定真空可达 1×10⁻⁶ Torr，工作温度自常温至 150°C，密封为 FKM O 型圈，每台集成一只 PVP-4 Pyrex® 视窗并带 4 英寸（101.6mm）观察区。可选电抛光内表面。该钟罩适用于真空系统、半导体工艺、材料研究、等离子体实验与洁净室作业。

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‌压力爆破片（420032 / 420033 / 420035 / 420036）‌

压力爆破片是 MDC的真空系统安全泄压装置，用于防止系统意外超压造成的设备损坏与安全事故。产品分为两类：低压（LP）BDA 系列用于低于大气压的泄压保护，ASME BDA 系列通过 ASME 认证，用于高于大气压的正压保护。全部为全金属不锈钢结构，采用 Conflat CF 法兰连接，提供 1.33 英寸（DN16CF 34mm）、2.75 英寸（DN40CF 70mm）与 3.38 英寸（DN50CF 86mm）三种规格。典型型号包括：420035（LP，5-7 PSIG，CF-16）、420036（LP，5-7 PSIG，CF-40）、420032（ASME 认证，9-11 PSIG，CF-16）、420033（ASME 认证，9-11 PSIG，CF-40）；另有 420030 为 1-1/3" Conflat 法兰配 25 PSIG 爆破片，420031 为 1/8"-27 外螺纹配 25 PSIG 爆破片。技术参数：破裂范围自 5 psig（0.34 bar）至 11.5 psig（0.79 bar）；氦检漏率 2×10⁻¹⁰ std. cc/sec，气密性优异；阀体与膜片为 316 不锈钢，可烘烤至 450°C；结构紧凑、无运动部件，基本免维护。计算流通能力为 1.33 CF 法兰组件约 107 SCFM，2.75 CF 法兰组件约 435 SCFM。适用于半导体设备、航空航天测试系统、科研实验室与需要 ASME 认证安全组件的工业过程。

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XpressStick™ 气体输送棒‌

XpressStick™ 是 MDC的一体化气体输送模块，把特种气体、压力控制、精密调节与真空工艺整合到单一装置中，用户无需搭建复杂硬件即可"从气瓶直达工艺"。其核心是集成 Alicat 真空气体质量流量控制器（MFC），可精确控制高达 20 SLPM 的气体流量，测量与控制量程覆盖 0-0.5 sccm 至 0-20 slpm，设定值控制响应时间仅 20-50 毫秒，零预热时间使设备可在 1 秒内开始控制工艺流量，有效消除真空镀膜过程中的靶材中毒现象。技术特点：实时测量并显示质量流量、体积流量、绝对压力与温度四项参数，并利用温度与压力对流量进行补偿；气体连接模块具备气体编程功能，通过设备自带显示屏即可直接编程切换气体种类，内置 98 种气体校准；专为超高纯度工艺要求设计，另提供不锈钢材质型号以适应腐蚀性气体环境。该模块可连接压力气体输入与真空腔体，广泛用于真空镀膜、半导体工艺与材料研究等需要精密气体流量控制的场合，是把气路硬件高度集成化的代表性产品。

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MDCPrecision产品型号：

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真空法兰与管件

‌CF 直通管件（Del-Seal™ CF Nipple）‌：402000、402001、402002、402003、402004、402005、402006、402007、402008、402009、402010。

‌ISO Kwik-Flange™ KF 法兰‌：K075（NW16）、K100（NW25）、K150（NW40）、K200（NW50）。

‌ISO Large-Flange™ LF 法兰‌：L250（NW63）、L300（NW80）、L400（NW100）、L600（NW160）、L800（NW200）、L1000（NW250）、L1200（NW320）、L1600（NW400）、L2000（NW500）。

‌CF 法兰规格（按法兰外径）‌：1-1/3"、2-1/8"、2-3/4"、3-3/8"、4-1/2"、4-5/8"、6"、6-3/4"、8"、10"、12"、13-1/4"、14"，对应 DN16CF 至 DN300CF。

‌管件构型‌：半接头、变径管、柔性接头、45°弯头、90°弯头、等径三通、变径三通、四通、五通、六通、六通立方体，以及混合适配器（Hybrid Adapters）。此外配套螺栓（六角、12 点、内六角）、螺母（六角、两孔板）、OFE 无氧铜垫片、定心环等附件。

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真空阀门

‌闸阀（Gate Valve）‌：302002、302014、302003、302015、303002、303014、303003、306061、306062、306063（覆盖 2-1/2"、3" 等通径，含 UHV 金属密封与 HV 弹性体密封、手动与气动两类）。

‌角阀（Angle Valve）‌：310029、310074、310080、310081、310082、310083、310084、311029、311074、311087、311088、311089、311090、311091、312029、312053、312054、312055、312056、313070、313071、313072、313073。

‌角阀型号参考代号‌：AV-150、AV-153、AV-150M、AV-150-P、KAV-150、KAV-150-P（1-1/2" 口径系列）。

‌蝶阀（Butterfly Valve）‌：360000、360001、360002、360010、360011、360012、360013（3/4" 至 2"）。

‌可变泄漏阀（Fine Leak Valve）‌：315000、315001、315002、315003、931585（替换用镍膜片）。

‌InvisiFlow™ 集成加热角阀‌：311096、312096。

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电气与光学馈通件

‌多针馈通件（Multipin）‌：9112002、9112003、9112004、9113000、9113001、9113002、9202001、9202002、9202003、9202004。

‌同轴馈通件（Coaxial）‌：9212001、9212002、9212003、9212004。

‌同轴连接器（BNC/MHV/SHV/SMA/SMB/N 型）‌：9922000（BNC）、9922001（MHV）、9922002（SHV-5）、9922003（Type-N）、9922004（SMA）、9922007（SMB）、9922008（Microdot）、9922010（SHV-10）、9922012（Kings 20kV）。

‌热电偶馈通件‌：9312030、9312032、9322020（R/S 型、5 对）。

‌电源与高压馈通件‌：9433055、9462017、9452001（含 20kV、25kV、60kV 等电压等级与水冷型）。

‌配套连接件‌：9924003。

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光学视窗与光学组件

‌蓝宝石视窗‌：9711000、9711002、9711010、9712000、9712001、9712002、9712007、9713000。

‌熔融石英视窗‌：9721005、9722005、9722007、9722009、9722011、9722012、9722013、9722205、9722207、9722209、9722213、9722300、9722301、9722302、9723005。

‌玻璃与零长度视窗‌：450000、450002、450003、450004、450005、450006、450007、450008、450009、450011、450030、450041、450042、PVP-4。

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运动与操纵组件

‌标准直线运动引入装置‌：660000、660002、660004、660006、660008、660010、660012、660014、660020、660022、660024、660028、660032、660036。

‌气动直线馈通‌：662000、662002、662004、662006、662008、662010、662012、662014。

‌标准旋转运动引入装置‌：670000、670002、670020、670022。

‌旋转—直线复合传送装置‌：670025、670028、670031、670034。

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真空腔体与系统配套

‌不锈钢钟罩‌：524000（12"）、524001（18"）、524002（24"）。

‌L 型垫片/ O 型圈底板（Baseplate）‌：521000、521001、521002、521003、521004、521005。

‌底井（Base Well）‌：523005、523006、523007、523050、523053、523056。

‌压力爆破片‌：420030、420031、420032、420033、420035、420036。

‌热电偶真空计管‌：511000、511001、511010。

‌编织柔性不锈钢软管‌：440375。

进口MDC PRECISION电气馈通件 热电偶 阀门