原装Brooks质量流量计5700 控制器SLA5850

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Brooks Instrument品牌介绍:

Brooks Instrument是精密流体测量和控制技术的全球生产者，能够实现精确的工艺性能，成立于1946年美国。是是ITW一个部门，ITW是的专业工业设备，消耗品和相关服务业的多元化制造商之一。

美国BROOKS INSTRUMENT主要产品包括：Brooks Instrument质量流量控制器、Brooks Instrument转子流量计、Brooks Instrument压力传感器、变送器、真空计、调节器、控制器等，广泛应用于重工业、油气精炼、化学和石化研究、制药和生物制药生产、太阳能电池、LED薄膜、光纤和半导体制造领域。过程控制是使您的生产超越寻常并实现新的性能水平的关键。要控制任何过程，您必须首先对其进行精确测量。这就是使Brooks Instrument成为精密流体测量和控制技术的全球的原因。他们实现了精确的过程性能。他们提供的结果始终为他们的客户创造竞争优势。在重工业中。在石油和天然气精炼中。化学和石化研究。制药和生物制药生产。

Brooks Instrument是《财富》200强公司ITW(伊利诺伊州工具厂)的子公司。ITW是专业工业设备，消耗品和相关服务业务的多元化制造商之一。该公司已经繁荣了100多年，因为ITW的每一项业务都具有独立的企业家精神和创新自由。世界ITW的才华横溢的人们通过新产品和客户驱动的解决方案来推动他们的成功。这就是使Brooks Instrument成为精密流体测量和控制技术的全球的原因。他们实现了精确的过程性能。他们提供的结果始终为他们的客户创造竞争优势。在重工业中。在石油和天然气精炼中。化学和石化研究。制药和生物制药生产。太阳能电池，LED，薄膜，光纤和半导体制造。超越。

Brooks Instrument凭借其开创性的流体测量和控制技术，一直是该市场的。布鲁克斯仪器公司是值得信赖的合作伙伴，因为他们的流量，压力和汽化仪器仪表非常准确。这是可靠的。稳定的。可重复的。耐用的。在要求工业和电子制造系统中，逐年，十年又十年地证明了这一点。它不断融合创新，将测量和控制技术提升到新的灵活性和精度水平。过程控制是使您的生产超越寻常并实现新的性能水平的关键。要控制任何过程，您必须首先对其进行精确测量。

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BROOKS INSTRUMENT主要产品

BROOKS INSTRUMENT弹性体密封压力控制器、BROOKS INSTRUMENT流量计

、BROOKS INSTRUMENT控制器、BROOKS INSTRUMENT流量传感器

、BROOKS INSTRUMENT压力控制器、BROOKS INSTRUMENT流量变送器

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BROOKS INSTRUMENT产品介绍

质量流量控制器和仪表

为真正实现对每个过程的控制，用户必须精确测量进行中的过程 — 范围涉及馈线、仓室等每一处 — 然后利用所得到的实时信息确保过程准确按照目标执行并达到目标产率。

作为一家在液体精确测量与控制方面的企业，布鲁克斯仪器数十年来不断坚持创新热质量流量技术，推出新产品并不断提升现有系统性能以突破现有热质量流量技术在准确性、响应速度、精度和重现性方面的限制。

质量流量设备在全球得到广泛应用的关键原因：

拥有业内种类的产品系列可满足各种应用需求

创新型 MultiFlo™ 技术可使一台设备完成气体类型和量程的切换工作并且无需从系统中拆除设备，同时还能够提升过程气体的测量准确性

产品范围全面，包括弹性体密封和金属密封选件

超高纯度设备，专为满足薄膜、半导体以及其他高科技行业需求而设计

热处理、切割等其他热过程

半导体和 LED 生产工具

薄膜淀积系统

用于生物制药的生物反应器

石化和化工气体和液体试验工厂

吹扫气体、过程分析和分析用流量测定

橡胶密封质量流量计和控制器将工艺所需的准确性、可靠性和可重复性相结合，是一种能够为您提供高精度性能和长期稳定性并且经济有效的测量仪器。结果：使运营投资价值和回报。

关键应用

化学品与石化分析和试验过程

实验室和分析系统

生命科学实验室

薄膜气相沉积

热处理、切割等其他热过程

真空应用

选择自身工艺需求的质量流量设备。

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变面积流量计（转子流量计）

作为变面积 (VA) 流量计（转子流量计）技术的先驱之一，Brooks Instrument 生产各式组合的流量计，安装并几乎用于各行业和各应用途径。

这种广泛的产品组合包括铠装金属 和玻璃管转子流量计每一个的设计都旨在能够经久耐用、可重复、可靠地测量气体和液体流量。它们的特点是：

可靠易读的显示屏

任何情况下都指示故障安全流量

能补偿变化压力的一体化流量控制器

适用多个压力范围的材料和设计

现场可更换的组件和定制秤

可选的流量开关与自动阀或警报器相集成

关键应用

基本的液体或气体流量测量

旋转设备的流量测量

过程分析仪

海上石油钻井平台的高压流

化学剂注入

清洗液体或气体的计量------

122系列机械压力表

型号S122/C122/F122Brooks Instrument 122系列机械压力表是为要求苛刻的半导体行业高纯度应用而设计和开发的。他们的机械压力表由不锈钢制成，精度为满刻度的1%。这两个英寸的压力表是耐用的测量设备，可用于各种过程连接，压力范围和插座方向，从而提供了一种可靠而有效的本地压力监测方法。从压力表供应商处获得精确的高性能结果。

特点

极广泛的流量范围 - 支持很低到很高程度的流速

温度为 -325°F - 788°F (-198°C - 420°C )

压力高达 6,000 psi（标准产品）和20,000 psi（定制型）

带现场操作接口（可选）的增强型 LCD 显示屏

符合 SIL 2 要求的高/低流量报警功能

316SS 不锈钢防爆外壳符合 ATEX 气体组 IIC/1 类 1 级危险区等级

选择的耐腐蚀防潮材料和指示器外壳满足苛刻的应用需求

垫片密封面符合 ASME 要求，无需特殊垫片

流量变送器可拥有HART® 7 或 FOUNDATION™ Fieldbus功能并且获得了全球认证

优势

任何 VA 流量计即使在非常低和最高的工艺温度下都能进行可重复的流量测量

设计符合 ASME B31.3 - 世界主要工业设施要求

产品文档、材料跟踪和项目规划与 EPC 系统集成商的需求相融合

无需电源 - 降低了使用成本和安装复杂程度

可靠的流量测量技术允许通过模拟或数字接口与控制系统进行通讯，即使没有可用电源

广泛的压力和温度范围允许就多用途只选择一个流量计

可用性和可靠性 - 全球使用已数十年

全球范围内批准在易爆、危险环境中使用，符合国际最高防爆安全要求

多个接头选择，易于安装

法兰设计避免了对特殊垫片的需求

对焊法兰标准，可接受完整性检查

应用

基本的液体或气体流量测量

监测旋转设备的润滑剂和/或冷却液

计量添加剂

监测熔炉气体

海上石油钻井平台的高压流

化学剂注入

金属密封热式质量流量控制器和仪表

最高纯度气路。超高精确，无污染的控制。

现今许多高级电子元器件的加工工艺都需要能够对昂贵的超纯气体和液态前体进行相当准确并且具有高度可重现性的测定和控制。因此，布鲁克斯仪器推出了自家的革命性金属密封热质量流量控制器和仪表来满足上述需求。该产品将稳定性和准确性超高的测量传感器与快速、精准的控制阀以及功能强大的电子元件相结合共同实现了精准的化学品控制。高完整性（无泄漏）的超高纯度全金属流路可确保过程化学品纯度，该流路专为防止外部污染（如湿气和氧气）腐蚀过程媒介而设计。

关键应用

硅材料半导体器件制造工艺 – 蚀刻、剥膜、CVD、ALD、PVD、Epi、扩散、植入和 RTP

化合物半导体器件加工工艺 – MOCVD

精密的表面涂层

分析系统

真空处理应用

选择自身工艺需求的质量流量设备。

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-VDM300 DI水蒸气输送模块特征

流量范围：3 slpm(DIW蒸气)

直接水蒸气测量，流量精度高

直接连接到房屋去离子水供应

在较低温度下运行(非过热状态)

优化的冲洗和排水设计

EtherCAT数字通信

Brooks专家支持工具(BEST)图形用户界面

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弹性体密封压力控制器

使用稳定的电子压力控制器可获得更好的精度，稳定性和可靠性。

Brooks Instrument的弹性体密封压力控制器经过精心设计，坚固，耐用且具有成本效益，同时为全球用户提供了持续可靠的精度，这得益于流体测量和控制领域的。他们电子压力控制器利用了行业热质量流量控制器中存在的核心控制技术。

他们的弹性体密封压力控制器通过消除与传统机械弹簧膜片压力调节器相关的下垂和滞后，实现了闭环控制。Brooks压力控制器带有内部压力传感器，可控制高达4500 psig的压力。结果：电子压力控制器使关键过程保持在目标位置。

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BROOKS INSTRUMENT产品型号

流量计1026NC032AA1F9F00001

流量计1026NC032AA1C9E00001,SCALE24-240L/HR

质量流量控制器BROOKS INSTRUMENTS SLA5853S测量量程：0-1000 Nl/min

INSTRUMENTs流量计1350EM2BCNF1A

S-097-Y-208-AA、112804

流量控制器SLA5853S2GAB2C2A1

电源0250系列0254AB2A21A

流量计MT3809系列3809GZ4114

流量控制器SLA5853系列SLA5853/S-2G-A-B-2-C-2-A-1

SLA5850-SB1AB1C2A1,0-2,5NL/MIN

流量计FR2A14SVVT(0.4-5LPM)

流量计GT1001020NK1D1AA2FC9CA001

质量流量控制器541-C-06-AAG REW

5700 系列5700质量流量控制器

5850E 系列5850E, i / 5851E, i / 5860E, i / 5861E, i / 5853E, i / 5863E, i质量流量控制器

GF40 系列质量流量控制器

SLA 系列SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863质量流量控制器

SLAMf 系列SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64质量流量控制器

5850EM 系列5850EM / 5851EM质量流量控制器

GF80 系列质量流量控制器

GF100 系列GF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126质量流量控制器

GF100 系列 EtherCATGF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

5850EMH 系列5850EMH / 5851EMH质量流量控制器

GF120xHT 系列质量流量控制器

Quantim® 系列SLA5850

Sho-Rate™ 系列可变面积流量计（转子流量计）

FC 系列FC8744 / FC8800 / FC8900可变面积流量计（转子流量计）

MT3750 系列3750C可变面积流量计（转子流量计）

MT3809 系列3809G / 3809G ELF / 3809G TFE Lined / 3810G可变面积流量计（转子流量计）

8600 系列8601

122 系列压力表S122 / C122

122 系列开关IPS122 / IPT122

SolidSense II® 系列GF / GF

5866RT5866RT

SLA5800 系列SLA5810 / SLA5820 / SLA5840

SLAMf 系列SLAMf10 / SLAMf20

PC100 系列PC115 / PC125压力和真空产品

半导体产品

CMC 系列CMC压力和真空产品

半导体产品

XacTorr® 系列CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3压力和真空产品

半导体产品

VDM300VDM300汽化产品

半导体产品

0250 读数应用0251 / 0254附件和软件

0260 系列

LR-056 系列

0260 系列软件V1.0.3.1附件和软件

Brooks Expert Support Tool (BEST)V5.12.0.0 / V5.10.0.0附件和软件

GP200 嵌入式气体数据库V403 / V401 / V400 / V399附件和软件

MultiFlo™ 配置器GF100 EtherCAT MFC的驱动程序 / 使用USB 2.5mm电缆的设备驱动程序 / V5.34 / V5.32 / FloCom 数据库 db220418 / FloCom 数据库 db190701附件和软件