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MKS质量流量控制器

MKS质量流量控制器

产品时间:2023-08-30

简要描述:

Granville-Phillips®475 Convectron®真空计控制器与行业标准的275系列Convectron®真空计相结合,使用的热导率变化提供高性能真空压力测量。

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Granville-Phillips®475 Convectron®真空计控制器与行业标准的275系列Convectron®真空计相结合,使用的热导率变化提供高性能真空压力测量。Convectron®真空计是对流增强型皮拉尼真空计,具有单独校准的真空计、温度补偿和对流技术,可在7个十年内从1x10-4 Torr到大气压提高精度和可重复的真空测量。这些控制器设计用于275 Convectron®Pirani真空计。Granville-Phillips®Convectron®压力计已成为世界标准的对流增强皮拉尼压力计超过35年,并用于数千种真空工艺,以准确测量从大气压到10-4 Torr的压力。

①从1x10-4 Torr到大气压的真空压力测量。

②用于台式或面板安装应用的高性能紧凑型控制器。

③I/O选项包括模拟输出、设定点继电器和串行通信。

④N2、Ar、He、CO2和O2的预编程气体曲线。

⑤用于简化配置和参数设置的直观菜单控制。

⑥符合RoHS和CE标准。

475系列Convectron控制器是符合RoHS标准的第三代Convectron真空计控制器,它结合了坚固的可靠性和易于使用和系统集成的关键特性。它包括多项功能,例如自诊断、集成Convectron真空计模拟和内置气体曲线,可针对各种真空环境进行调整。475系列易于使用,具有高度可见的真空荧光显示器(VFD)和直观的前面板控件,无需特殊工具即可校准真空计和调整真空测量参数。它可以用作基本真空系统控制的简单读数装置,也可以集成到更复杂的控制系统中。475提供一系列控制I/O选项,包括模拟输出、设定点继电器和串行通信接口。

①宽测量范围:真空系统压力可以从1x10-4 Torr(1x10-4 mbar,1x10-2 Pa)到大气压连续监测。

②高测量分辨率:旨在充分利用Convectron Gauge技术,在大气压下分辨率为1 Torr(1 mbar,0.1 Pa),在低压下分辨率为0.1 mTorr(1x10-4 mbar,1x10-2 Pa)。


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