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美国BROOKS气体质量流量计

美国BROOKS气体质量流量计

产品时间:2023-03-01

简要描述:

热式质量流量计和控制器非常适用于那些使用多种气体、需要频繁切换气体类型或是需要在保证气体测量和控制准确性的同时重新设定测量范围的系统、工艺和设施。

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BROOKS流量计 GF40 系列,采用橡胶密封,使用布鲁克斯仪器MultiFlo 技术的 GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器非常适用于那些使用多种气体、需要频繁切换气体类型或是需要在保证气体测量和控制准确性的同时重新设定测量范围的系统、工艺和设施。BROOKS流量控制器流量范围-满量程容量:3 sccm - 50 slpm,精度:1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%,控制范围 2-100%。非常适用于各种气体,多协议通信选件包括 DeviceNet、EtherCAT、Profibus 和 RS-485 模拟接口,多协议通信接口可集成至现有系统。大量应用在:太阳能电池化学气相沉积,非常适用于管汇系统/气体输送系统,真空处理,等离子体、玻璃和卷绕镀膜系统,生命科学实验室,纳米技术/MEMS 制造。

一般来说,布鲁克斯质量流量计主要分为热式质量流量计、差压式质量流量计和科里奥利质量流量计。不同种类的质量流量计其工作原理也不一样。


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