产品时间:2023-05-11
2. 安装角度可选 0°-90° 和 90°-180°3. 分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)4. 带节流阀和阀门的集成净化气体系统
分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 产品优点
1. 抽速从 1200-2300 l/s 的全系列产品
2. 安装角度可选 0°-90° 和 90°-180°
3. 分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)
4. 带节流阀和阀门的集成净化气体系统
5. 电压范围 90 - 265 V
6. 获得 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV认证
7. 防护等级 IP54 符合工业环境应用要求
8. 适用于各种严苛工艺如刻蚀,溅镀,分子泵耐粉尘
9. 集成分子泵控制器 TC 1200,可直接连接一般电源
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M产品优点:
1. 磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装
2. 集成控制器
3. 清洁无油
4. 高气体流量
5. 低震动及低磁场干扰
6. 磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿
7. 转速范围大
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